高真空金属蒸发镀膜机（清采比选20240036号）采购公告
采购项目名称 高真空金属蒸发镀膜机 采购项目编号 ************* 公告开始时间 ****-**-** **:**:** 公告截止时间 ****-**-** **:**:** 对外联系人 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 联系电话 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 签约时间要求 成交后*个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) 交货时间要求 签订合同后**个工作日内 采购单位 **** 最高限价 ￥***,***.** 未公布 国内合同付款方式 货到付款***% 交货地址 ******* 供应商特殊资质要求
无
采购清单* 物资名称 采购数量 计量单位 高真空金属蒸发镀膜机 * 台 品牌 品牌* 普迪真空 型号 PD-***M 品牌* 型号 品牌* 型号 单价 ￥***,***.** 技术参数及配置要求 一、真空腔室
真空专用***不锈钢腔室，***×***×***mm；前开门结构。配内衬防污板，可旋转水冷；
二、镀膜要求 *镀膜蒸发速率：
Al:**~**Å/s，Cu :*~**Å/s，Au:*~**Å/s； Ag:*~**Å/s；Ni:*~**Å/s；Ti:*~*Å/s；Pt:*~*Å/s；根据实际工艺可自动调整。
*镀膜速率控制要求：自动控制最小*.*A，手动控制*.**A（提供图片佐证）
*镀膜方式：实现全自动镀膜。
*可镀膜材料：Au/Cu/Al/Ag/Ni/Ti/Pt/Cr/Nb/Ga/In/Ir/Fe等，以及不常用低熔点金属等，氟化镁，氧化锰，C**，BCP,AlQ*等等低熔点化合物小分子材料等。
*镀膜厚度均匀性：*英寸工件/*英寸工件，保证片内均匀性优于+/-*%，片间均匀性优于+/-*%；
*镀膜厚度重复性：优于+/-*%；
*附着力：符合ISO及国标军标要求。
三、膜厚仪 进口 INFICON品牌，型号: SQC-***，配备 * 只水冷探头；
显示控制精度*.** 埃；
四、真空系统 不小于****L/S泵组高真空抽气系统；
五、基片台尺寸 最大可镀基片尺寸/面积：Φ***mm范围内可装卡各种规格配套相应样品架可固定各类不锈钢掩膜板。基片台旋转：*-**转/分钟，可调可控。基片台可水冷。
六、蒸发源及电源 热蒸发系统配*组蒸发源（可使用丝状源与舟状源）；
配备水冷蒸发电极,不小于*.**KW金属蒸发电源。
七、控制方式 西门子PLC+西门子触摸屏全自动控制；所有阀门采用电动控制。
八、报警及保护 对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。
九、设备配电 电压：AC***V/**HZ 功率：*.*KW
十、设备震动 *设备震动A级，符合ISO标准，噪音指数**分贝以下
十一、设备尺寸 占地面积小节约实验室实验空间。
*.主机
外形尺寸：W***×D***×H****mm
* 仪器重量：***kg
*.泵:
外形尺寸：W***×D***×H***mm
* 仪器重量：**kg
*.水冷机
外形尺寸：W***×D***×H***mm
* 仪器重量：**kg
十二、腔体洁净度要求 *需提供高真空状态腔体气体分析报告。 质保期 **个月
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报价地址：http://sbgysfw.sysc.tsinghua.edu.cn/login.html