高真空脉冲激光溅射薄膜沉积腔体(GY202309337)废标结果公示
该项目已废标。 废标理由：采购信息填写有误，用户申请终止采购。 公示开始日期 ****-**-** 公示截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 物理学院 付款方式 合同签订后预付**%，货到验收合格后支付剩余尾款 签约时间要求 到货时间要求 收货地址 **大学中心校区环境楼*** 废标理由 采购信息填写有误，用户申请终止采购。 采购清单* 采购物品 采购数量 计量单位 高真空脉冲激光溅射薄膜沉积腔体 * 台 品牌 沈科仪 规格型号 PLD*** 技术参数 主要技术参数： 极限真空度：镀膜室≤*.*？**-* Pa(经烘烤除气后) 进样室≤*？**-* Pa (经烘烤除气后) 抽速 *.镀膜室从大气开始抽气：**分钟可达到*？**-*Pa *.进样室从大气开始抽气：*分钟可达到**Pa 保压性能:系统停泵关机**小时后真空度：≤**Pa 真空室 *.双室结构； *.镀膜室前开门结构； *.进样室上开盖结构； *.优质***不锈钢材质； *.镀膜室尺寸：Ф***mm； *.进样室尺寸：约φ***mm****mm； *.具备腔外照明功能； *.激光入射口到地面的距离为****mm； *.石英玻璃窗口：RF**，*块（可透过紫外***nm波段的JGS*石英玻璃，供激光入射使用）。 **.RF**红外石英玻璃窗口：*块（透过红外波段JGS*石英玻璃，供红外测温使用）； **.预留过渡室接口、RHEED接口 进样室 *.新型磁力样品传送杆，传送距离约***mm：*套；（手动操作）； *.样品库组件：*套；（*个位置） *.压力表，放在进气角阀外：*套； *.RF***两用活开门：*套（其上有铰链、锁紧件、φ**观察窗）； *.盲法兰：CF**、CF**各*个； *.旁抽角阀： CF** *个； *.低真空规： CF** *个； *.电离规： CF** *个； *.电极引线： CF** *个； **.气动插板阀：CF*** *个； 旋转靶台 *.靶台采用下部安装设计，靶材表面朝上； *.一次可以同时安装*块靶材，靶材最大尺寸*英寸；（客户自购靶材） *.每块靶材可实现自转，转速*～**转/分，连续可调，并显示转速； *.靶位公转换位机构，PLC控制，编码器控制旋转精度，精度*°，可进行靶摆动，提高靶材利用率； *.靶材屏蔽罩将*块靶材屏蔽，每次只有一个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染。 离子泵组件 *、***L/S离子泵*台。 *、CF***板阀*台。 *、过渡接口*件。 工作气路 *.镀膜室：气体流量控制器（氧气、***SCCM,氮气***SCCM、氩气***SCCM）充气阀CF**、管路、接头等：*路； *.镀膜室：充气阀CF**、管路、接头等：*路（解除真空充氮气）。 *.进样室：充气阀CF**、管路、接头等：*路（解除真空充氮气）。 抽气组件 *.脂润滑分子泵：*台（抽速****升/秒）； *.气动插板阀CF***：*台（用于分子泵与真空室隔离）； *.旋片真空泵：*台（抽速**升/秒）；（与进样室共用）； *.电动蝶阀CF***口径（国产）软件控制气压； 复合真空计 *.镀膜室：*x***Pa-*x**-*Pa *.进样室：*x***Pa-**-*Pa 工艺薄膜规 规格：***.*Pa 手动磁力传递 *.在真空状态下，取送基片； *.每次只取送*片基片。 售后服务 服务网点:当地;质保期限:*年;响应期限:报修后*小时;
资产与实验室管理部
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