南京理工大学2024年3月政府采购意向
接触式紫外光刻机 项目所在采购意向： **********年*月政府采购意向 采购单位： ****** 采购项目名称： 接触式紫外光刻机 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： 电子工业专用生产设备 采购需求概况 ： 接触式紫外光刻机*台，满足以下指标： *. 最大衬底尺寸：*英寸圆形，并且在配合对应的夹具时，可以向下兼容各类不同尺寸的衬底及不规则小片。 *. 基于主流操作系统的图形化控制软件，软件操作方便快捷，具有工艺编程、设备各部件控制、设备状态监控等功能，采用分级式用户管理，可设置多个用户，方便设备管理；设备配备专用的操作摇杆，进行显微镜、对准台等部件的移动和操作。 *.具有稳定可靠的三轴式晶圆楔形误差补偿系统，可对晶圆和掩模版之间的平行度进行自动调平。 *.曝光光源：UV LED曝光光源支持 ***nm(i线)， ***nm(h线)， ***nm(g线），并且可以支持输出光谱的任意编辑, 可以通过软件可以控制每种波长的输出光强在关闭或者**%~***%之间调节。 *. 配置微透镜阵列式光学系统以适应在不同的工艺条件下对消减衍射影响的要求，可在同一设备上实现&#**;高分辨率&#**;和&#**;大景深&#**;两种模式曝光，两种模式随时切换，切换时间在*分钟以内。 *. 分辨率：优于*.*um (i线，光刻胶厚度*um，硬，等间距图形)。 优于*.*um (i线，光刻胶厚度*um，曝光间隙**um，等间距图形)。 *. ***nm下的光强 **mw/cm*，***nm下的光强 ***mw/cm*。 *. 光强均匀度：优于±*.*％，其中在最大晶圆尺寸区域测量至少*个点， 均匀性 = ± （最大值 – 最小值） / （最大值 + 最小值）。 *. 曝光工艺控制：用户可以通过设定曝光时间来控制曝光剂量。 **. 支持正面对准和背面对准两种模式。 **. 正面对准精度±*.*um，背面对准精度±*.*um。 **. 采用全电动对准台，对准台在X-Y及Theta轴方向由马达驱动，可以通过多功能摇杆控制。 **. 对准台行程的范围： X：±*mm； Y：±*mm； θ：±*°。 货期：签订合同后*个月内。质保期：*年及以上。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。