中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年2至12月政府采购意向
原位Mask器件级图案化分子束外延设备 项目所在采购意向： ***********************年*至**月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 原位Mask器件级图案化分子束外延设备 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他电工、电子生产设备 采购需求概况 ： 本设备用于沉积高精度掩膜*** nm以下的图形生长，系统集MBE薄膜沉积生长、样品传递及原位监测功能于一体，设计生长腔体集成薄膜制备源炉，具备可旋转升温样品台、磁力杆及配套抓手、RHHED、QCM、四极质谱仪等仪器、横向安装的可倾斜的Manipulator，可满足图形化制备，且能达到低温** K功能。本系统包含低温MBE生长腔、预处理腔、存储腔、*个K-cell源、*个裂解源以及一个电子束蒸发源；各腔室利用UFO（圆形样品传样腔）进行连接，实现自动化传样。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。