北京大学2024年4月政府采购意向
原子层沉积系统 项目所在采购意向： ********年*月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 原子层沉积系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他分析仪器 采购需求概况 ： 该设备用于制备原子层厚度介质薄膜，重点满足高端产业人才课程实训平台建设需求，同时提升集成电路（IC）和微机电系统（MEMS）芯片制造过程中超薄膜材料各向同性制备能力。主要制备材料包括Al*O*、HfO*、TiO*、SiO*、AlN、TiN、Pt、Ir等。 预计采购时间： ****-** 备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。