中国科学院深圳先进技术研究院2024年4至5月政府采购意向
飞秒激光双光子*D光刻机 项目所在采购意向： ******************年*至*月政府采购意向 采购单位： ************** 采购项目名称： 飞秒激光双光子*D光刻机 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********电子工业生产设备 采购需求概况 ： 拟购置的飞秒激光双光子*D光刻机*台，主要用途如下： 主要用于制备高分辨三维复杂微纳器件；支持*D器件的自由设计；可根据物镜调整多个精度模式，适用于微米和厘米级器件制备的多种用途。 *) 能够直接双光子聚合类PDMS类材料，以供以后翻模。 *) 能够加工制备熔融石英玻璃微结构。 *) 可以对样品表面已有纹路或微结构进行二次对准。 *) 加工超高精度光学超构表面。 *) 具备加工水凝胶的能力。 *) 适合微纳机器人的加工。 *) 可在MEMS芯片上加工可控形变微纳器件的能力。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。