中国科学院青岛生物能源与过程研究所2024年6至12月政府采购意向
原子层沉积设备 项目所在采购意向： *********************年*至**月政府采购意向 采购单位： ***************** 采购项目名称： 原子层沉积设备 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********电化学分析仪器 采购需求概况 ： 原子层沉积设备以单原子膜形式逐层镀在基底表面，与普通的化学沉积有相似之处，但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，每次反应只沉积一层原子。用于先进钙钛矿太阳电池中金属氧化物薄膜SnO*，Al*O*，TiO*等的沉积。 原子层沉积功能： *)设备类型：真空外加热水平横流式镀膜，加热系统在真空室外，反应气体和载气不可以任何方式接触加热器，反应物和吹扫气流在腔室一侧流出，从基片一边水平流经基片后，从腔室另一侧的真空抽气口进入真空泵。 *)载片量及尺寸：***×***mm向下兼容。 *)真空计：配置薄膜真空计+皮拉尼真空计用于真空测量，测量范围*E-* torr-大气压。 *)控制系统：配置高精度PLC+工控机沉积自动控制系统，满足高精度ALD沉积需求图像化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态。 原子层沉积主要参数： *)反应区温度：要求在**-*** ℃之间可以均匀成膜，反应温度不得超过*** ℃； *)前驱体源：*路金属源，*路水源，金属源及管路加热温度RT-*** ℃；金属源及水源分别通过*路N*流量计控制流量。 预计采购时间： ****-** 备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
磁控溅射 项目所在采购意向： *********************年*至**月政府采购意向 采购单位： ***************** 采购项目名称： 磁控溅射 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********真空检测仪器 采购需求概况 ： 磁控溅射是物理气相沉积的一种。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程，和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程。在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。磁控溅射在高温超导薄膜、铁电体薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池、记忆合金薄膜研究方面发挥重要作用。 磁控溅射功能： *)真空系统：分子泵+机械泵，带有旁抽系统，开腔不需要停泵，极限真空度小于****-* Pa。 *)流量控制：进气端采用质量流量计+截止阀并通过进气流量控制，排气端采用蝶阀并通过软件控制。 *)基片盘：转速*-**转/分，*-** ℃水冷机制。 *)软件操作：触摸屏+PLC，一键式启动/停止真空，一键式充气开腔，一键式镀膜。 磁控溅射主要参数： *)膜厚均匀性和重复性误差：≤±*%； *)真空室规格：*******mm的基片尺寸； *)靶材尺寸：直径*、*.*、*、*英寸，厚度*-* mm。 预计采购时间： ****-** 备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
激光划线设备 项目所在采购意向： *********************年*至**月政府采购意向 采购单位： ***************** 采购项目名称： 激光划线设备 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********激光仪器 采购需求概况 ： 激光划线设备是采用激光器，主要功能在于对薄膜太阳能电池及组件进行P*，P*，P*激光划刻的设备。适用于各种薄膜太阳能电池P*/P*/P*划线，适用材料：FTO、ITO、Au、Ag、Spiro-OMeTAD、Perovskite、SnO*、C**、PCBM、NiOx等不同材质镀层。在钙钛矿电池中，激光设备是构建其串联回路的主要工艺，包括P*/P*/P*激光划线以及P*激光清边，属于钙钛矿设备中较为刚需的技术之一。其中，P*/P*/P*激光划线——用于分割电池区域，串联电池，增大电压；P*激光清边——利用激光刻蚀技术在边缘清理出*-**mm区域，保证电池层级的一致性。 激光划线设备功能： *)加工载台：主要用于在产品定位、加工过程中，提供支撑、吸附。 *)X/Y/Z轴运动系统：运动轴安装*.*um分辨率的高精度光栅尺，配合读数头进行位置反馈，以保证运动精度；所有运动轴安装机械限位，同时安装Sensor，配合软件实现软件限位，以此保证高速运行下的安全性。 *)影像定位系统：设备配置影像定位系统，用于对产品进行精确的定位，保证切割精度。 *)激光及光学系统：主要用于对产品进行切割。 激光划线设备主要参数： *)划线工艺控制：P*、P*、P*线宽分别为** μm、*** μm、** μm； *)激光器：绿光皮秒和红光纳秒双激光器。 预计采购时间： ****-** 备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
双**狭缝涂布设备 项目所在采购意向： *********************年*至**月政府采购意向 采购单位： ***************** 采购项目名称： 双**狭缝涂布设备 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********金属喷涂设备 采购需求概况 ： 狭缝涂布技术是通过**进行直线运动的过程中，将涂布材料通过供液系统以及高精度供液泵配合，使材料从涂头中挤出并均匀地涂布在基材表面上，从而实现高质量的涂布效果，涂布的基板采用真空卡盘进行吸附，可实现多种材料的精密涂布。狭缝涂布设备以其涂布速度快、涂膜均匀性好、涂布窗口宽、涂液利用率高等特点，广泛应用于胶卷、造纸、和新能源领域，尤其是钙钛矿太阳能电池和锂离子电池极片涂布等。 双**狭缝涂布设备功能： *)平台结构：采用双**双驱动系统，底座采用花岗岩和不锈钢机架，确保平台稳定性和精度。 *)直线运动装置：X轴和Z轴的自动控制和重复定位精度优于*μm,可满足各种精密涂布工艺要求。 *)导轨类型：采用精密直线电机和气浮轴承，运动控制精度高，运行过程平稳无振动，适合于高精度工艺应用。 双**狭缝涂布设备参数： *)基板尺寸：*******mm； *)薄膜均一性误差：≤±*%； *)风刀：含线状出风口可手动调整出风角度。 预计采购时间： ****-** 备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。