北京航空航天大学2024年6至12月政府采购意向
********集成电路科学与工程学院高温光谱发射率测试系统 项目所在采购意向： ************年*至**月政府采购意向 采购单位： ******** 采购项目名称： ********集成电路科学与工程学院高温光谱发射率测试系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********真空检测仪器,A********真空系统附件,A********真空应用设备,A********真空获得设备,A********真空检测设备,A********其他真空获得及应用设备 采购需求概况 ： 拟采购用于多元复杂薄膜沉积模块的关键设备零部件一批，设备零部件包含真空泵组，定制真空腔体，真空密封件，真空计，真空阀门、多维高温晶圆台、传感器、蒸发源、流量计、加热电源、射频电源、反射式高能电子衍射装置、晶圆传输装置、膜厚仪、客制化软件控制系统以及其他辅助设备部件等。 预计采购时间： ****-** 备注： 无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。