[BA202400527]等离子体增强化学气相沉积系统
采购信息 项目编号 BA********* 项目名称 等离子体增强化学气相沉积系统 经办人单位 物理学院 经办人 王鹏 预算金额 ******.** 人民币 成交金额 ******.** 人民币 成交供应商 ***海涵仪器有限公司 质保期 ** 月 联系地址 **省-***-***远达大街***号**国际广场*栋****室 采购单位 ****超硬材料国家重点实验室 付款方式 设备安装调试验收合格办理相关手续后***%付款。 供应商联系手机 *********** 交货时间 成交单签订后**天内交货 交货地址 **省-***-**大街****号 **** 超硬实验综合楼 交货方式 乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。 包装及运费 由乙方免费提供及承担 验收方式 以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。 售后服务要求 服务响应时间与服务内容： 电话响应时间：*小时 人员到达现场时间：*小时 排除故障时间：**小时 培训方案： 培训次数：*次 培训人员数量：*人 培训地点：**** 费用：免费 明细清单 采购品目 工业电热设备（电炉） 品牌名称 **科晶 名称 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统 产地及生产商 中国-**科晶材料技术有限公司 规格型号 OTF-****X-II-**-PE 数量 * 计量单位 套 保修年限 *年 单价 ******.** 人民币 总价 ******.** 人民币 主要技术参数 主要配置包括：双温区管式炉，真空系统，供气系统，射频电源，手套箱 *. 双温区管式炉 *.*最高温度: ****℃ 工作温度: ****℃ *.* PID控制和自整定调节功能智能化**段可编程控制 *.*双层壳体结构并带有风冷系统 *.*总温区长度：*** mm *. 真空系统 *.*真空度：≥ **-* torr *.*抽气速率：*L/s *.*漏气率≤ *x**-* Pam*/s *. 供气系统 *.*质量流量控制器精度：± *.* % FS *.*流量范围:一路 *-*** sccm，二路 *-*** sccm，三路及四路 *-*** sccm *. 射频电源 *.*功率输出范围：*-*** W *.*射频频率：**.** MHz *. 手套箱 *.*箱体：SUS*** 不锈钢，厚度 *mm *.*主箱体尺寸：*** x *** x *** mm *.*过度仓尺寸：直径*** x 长*** mm 信息咨询 ****招标与备案(采购)管理中心 设备类：林老师: ****-******** 工程类：白老师: ****-******** 服务及其他货物：李老师: ****-********