西北大学原子层沉积系统采购项目(三次)政府采购合同公告
一、合同编号：HZGH-****-*** 二、合同名称：原子层沉积系统采购项目(三次) 三、项目编号：HZGH-****-*** 四、项目名称：原子层沉积系统采购项目(三次) 五、合同主体 采购人(甲方)：西北大学 地址：**北路***号 联系方式：***-******** 供应商(乙方)：**中兵近代科技有限公司 地址：**省******电子商务 产业园（庐陵雅苑）主二楼 联系方式：***-******** 六、合同主要信息 主要标的： 序号 名称 数量(单位) 单价(元) 总价(元) 规格型号/服务要求 * 原子层沉积系统 *(套) ￥***,***.** ￥***,***.** *、设备主机 *）适用于*英寸以及小尺寸样品薄膜沉积；沉积薄膜的均匀性不低于如下标准：在*英寸晶圆上沉积**nm薄膜（如氧化铝），以晶圆上*个均匀分散点（上、下、左、右、中心）进行椭偏仪测试膜厚，薄膜不均匀性≤*%。 *）控制方式：PLC+触摸屏； *）多种沉积模式。 *、反应腔系统 *）反应腔材质为***L不锈钢，电解抛光； *）样品台尺寸：标准*英寸腔体； *）样品台加热温度最高可达***℃，控制精度为±*℃； *）反应腔配备自动充气及过压保护功能。 *、前驱体输送系统 *）提供常温源，加热源和载气辅助源各前驱体源多路实现（至少可实现常温源*路，加热源*路，载气辅助源*路）； *）前驱体输送管路加热温度范围不低于RT-***℃； *）配备各前驱体源ALD阀门，加热源配备耐高温阀，确保源瓶温度加热不小于RT-***℃范围； *）管路及接头均采用*** EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用真空卡套及VCR连接；载气管路采用N*或者Ar气体，通过质量流量控制器控制，并实现清洗功能。 *、臭氧源系统 *）配备臭氧发生器、臭氧破坏器、MFC（量程*-***sccm）； *）臭氧发生器产量可达** g/h，浓度可达*** g/m*； *）臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水。 *、真空系统 *）真空泵采用机械泵；真空产生系统优于*Pa； *）真空测量检测范围*×**-*~**** mbar； *）真空泵前热阱前端全程伴热温度范围优于RT-***℃，防止过量前驱体冷凝，热阱温度范围优于RT-***℃，控制精度±*℃。 *、控制系统 采用高稳定性PLC控制系统，实现软件全自动控制加热、流量等全部沉积过程，以及温度、压强等实时监控。可实现配方编辑、保存、读取等功能；所有ALD阀门具备自动排空功能，管线具备自动清洗功能等。当发生异常时触发报警并做出响应，报警日志可进行回看。 *、验收指标 在*英寸晶圆上沉积**nm薄膜（如氧化铝），以晶圆上*个均匀分散点（上、下、左、右、中心）进行椭偏仪测试膜厚，薄膜不均匀性≤*%。 *、服务 质保期*年，软件终身免费升级。 合同金额： ***,***.**元，大写(人民币)：肆拾伍万玖仟玖佰元整 履约期限：****年**月**日至****年**月**日 履约地点：西北大学信息科学与技术学院指定地点 采购方式：竞争性谈判 七、合同签订日期 ****年**月**日 八、合同公告日期 ****年**月**日 九、其他补充事宜 合同附件： 原子层沉积系统采购项目(三次)--采购合同.pdf 西北大学 ****年**月**日