快速退火炉采购(GY202500632)自购结果公示
该项目经自行采购程序，允许自购： 供应商： **晟阳仪器设备有限公司 中标金额： ****** 公示开始日期 ****-**-** 公示截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 集成电路学院 付款方式 ***%预付 签约时间要求 到货时间要求 收货地址 **大学软件园校区教研楼B*** 采购清单* 采购物品 采购数量 计量单位 快速退火炉 * 台 品牌 嘉仪通 规格型号 RTP-*C** 技术参数 温度范围RT-****℃；最大升温速率裸片≤***℃/s ，SiC 石墨托盘≤**℃/s；控温精度裸片±*℃，SiC 石墨托盘±*.*℃；温度均匀性：SiC 石墨托盘≤*%；最大降温速率：****℃-***℃裸片****℃/min ，SiC 石墨托盘***℃/min，***℃-***℃裸片**℃/min ，SiC 石墨托盘**℃/min；工艺气路：MFC 控制，配* 路，可扩展增加气路；最大样品尺寸：* 英寸；衬底冷却：氮气吹扫。 售后服务 服务网点:当地;质保期限:*年;响应期限:报修后**小时;
资产与实验室管理部
****-**-**