紫外光刻机(GY202309962)自购结果公示
该项目经自行采购程序，允许自购： 供应商： ****高科有限责任公司 中标金额： ****** 公示开始日期 ****-**-** 公示截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 集成电路学院 付款方式 ***%预付款 签约时间要求 到货时间要求 收货地址 **省***高新区舜华路****号**大学软件园校区教研楼*B-B*** 采购清单* 采购物品 采购数量 计量单位 紫外光刻机 * 台 品牌 **** 规格型号 BG-***B 技术参数 简要技术要求： *．曝光类型：单面；*．曝光面积：***×***mm；*．曝光照度不均匀性：≤*%；*．曝光强度：≥**mw/cm*，可调；*．紫外光中心波长：***nm；*．紫外光源寿命：≥*万小时；*．曝光分辨率：*μm；*．曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光；**．显微镜扫描范围：X：±**mm Y：±**mm； **．对准范围：X、Y±*mm；θ±**°；**．套刻精度：*μm；**．显微系统：三目头显微镜，双视场CCD系统，目镜**X，物镜**X，物镜分离距离：**～**mm；扫描范围：**×**mm；调焦范围：*mm，计算机图像处理系统，**″液晶监视器；**．基片厚度：≤* mm；**．曝光定时：*～***.*秒可调；**．配套掩模版架：*英寸、*英寸；**．配套承片台：*英寸、*英寸各一个；**.配套真空泵一台**.配套光强计一台 交货期：合同签订后**日内. 售后服务 服务网点:当地;质保期限:*年;响应期限:报修后**小时;
资产与实验室管理部
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