全自动单片晶圆刷片机(GY202402997)自购结果公示
该项目经自行采购程序，允许自购： 供应商： **晶工半导体设备有限公司 中标金额： ****** 公示开始日期 ****-**-** 公示截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 新一代半导体材料研究院 付款方式 货到验收合格后付款 签约时间要求 到货时间要求 收货地址 **大学 采购清单* 采购物品 采购数量 计量单位 全自动单片晶圆刷片机 * 台 品牌 晶工 规格型号 QX-****B 技术参数 配备半导体专用双臂机械手;自动方式取放片，清洗结束后清洗腔体内将晶片推高，自动上升后自动取片;晶圆传感器以确保设备全自动安全运行，当晶圆在清洗过程出现未放正、脱离托盘、碎片等情况，设备需快速感应并急停报警;上下料工位共*个，干进干出，原取原放，并外设挡板，工作时设备为全密封状态。具备*个独立刷洗工位的腔体一个工位(*-*)另一个(***)mm具有单腔独立刷洗洗以及片盒片数位置和舱位记忆功能;晶片最大旋转转速不低于****转/分钟:甩干后品圆背面不可残留强光灯可见杂质与水痕;*个工位的内部环境洁净度需达到***级;配备控制系统中，参数可调，具有参数保存和调入使用功能;程序软件提供**个配方，每个配方可设置**步程序，每个程序中品片刷洗时间、旋转转速(*-****转/分)、药液冲洗时间(*-***秒)纯水冲洗时间(*-***秒)，甩干时间，伸缩移动速度，可在程序中设置;排风需配备压差计；设备的密封性能及排风效果保证药液挥发的气体在使用和非使用情况下，工作环境符合国家有关环保，人身安全等标准要求;排风装置(排风压力、风量根据实际情况或客户要求设计)，要求能将设备内挥发的酸气全部抽到车间排风管道，避免扩散到室内;机台开门处任意一点向内风速参考值*.*米/秒;排风通道内设有风量导流板，从而使排风效果达到最佳;排风口处设有手动调节风门，操作人员可根据情况及时调节排风量;排风口设计须考虑气体冷凝回滴不能存在安全隐患;设备应设有回水管路，保证设备所用纯水处于流动状态;设备进水端需配备稳压阀:机床具备较好的封闭结构，机身全包容式机壳机身材料需使用环保材料;设备所有处于腐蚀腔中的线缆均通过PE管进行保护，免受腐蚀;与药液及纯水等接触的场所(配管，阀，泵，箱等)均不使用金属材质，使用清洁的PVC，PTFE，PFA等树脂材质的零配件; 售后服务 服务网点:外地;质保期限:*年;响应期限:报修后**小时;
资产与实验室管理部
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